Edwards（愛德華）是全球真空設(shè)備與減排系統(tǒng)領(lǐng)域的先驅(qū)，1919年成立于英國，2014年加入瑞典Atlas Copco集團，現(xiàn)為半導(dǎo)體、光伏、鋰電池等工業(yè)領(lǐng)域真空技術(shù)的頭部供應(yīng)商。其產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和智能化著稱，全球市場份額接近50%，尤其在半導(dǎo)體真空泵領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先地位。

核心工業(yè)產(chǎn)品系列與熱銷型號

1. 工業(yè)干式真空泵系列

GXS系列（干式螺桿泵）

熱銷型號：GXS160、GXS250、GXS450、GXS750（可搭配高速羅茨增壓泵）

特點：高效處理腐蝕性氣體與微粒，長維護周期（達5年），適用于鋰電池注液、化工蒸餾等高污染場景。

GV系列（大型工業(yè)干泵）

熱銷型號：GV600、GV400

特點：大流量、低能耗，專為光伏鍍膜、工業(yè)脫氣等連續(xù)作業(yè)設(shè)計，支持5年免拆洗維護。

2. 半導(dǎo)體專用泵系列

iH系列（爪式干泵）

熱銷型號：iH600、iH1000、iH1800

特點：高潔凈度、低振動，用于300mm晶圓制造中的PECVD/LPCVD工藝，兼容顆粒與腐蝕性氣體。

QDP/iQDP系列（干式爪泵）

熱銷型號：QDP80、iQDP40

特點：模塊化設(shè)計，集成智能控制，適用于半導(dǎo)體潔凈室的快速抽空需求。

3. 羅茨真空泵系列

EH系列（機械增壓泵）

熱銷型號：EH2600、EH4200

特點：高抽速、寬壓力范圍，作為前級泵用于半導(dǎo)體設(shè)備、冶金工藝等高流量場景。

MB系列（大型羅茨泵）

熱銷型號：MB5700

特點：超大功率輸出，適用于工業(yè)級連續(xù)運行（如鋼鐵冶煉、化工反應(yīng)釜）。

4. 油封式真空泵系列

EM系列（大型油封泵）

熱銷型號：E2M80、E2M275

特點：高極限真空、低噪音，用于變壓器干燥、燈具制造等粗真空場景。

RV系列（小型油封泵）

熱銷型號：RV12、RV8

特點：雙模式切換（高流量/高真空），適用于實驗室、小型工業(yè)設(shè)備配套。

5. 特殊工業(yè)應(yīng)用泵

EDC系列（爪式干泵）

熱銷型號：EDC300、EDC500

特點：耐腐蝕涂層、蒸汽消毒兼容，專為食品加工、醫(yī)療滅菌設(shè)備設(shè)計。

nXDS系列（渦卷干泵）

熱銷型號：nXDS20i

特點：緊湊型設(shè)計，低能耗，適用于精密儀器與潔凈室環(huán)境。

技術(shù)優(yōu)勢與工業(yè)應(yīng)用價值

高效節(jié)能：采用干式無油技術(shù)減少污染，GXS系列能耗降低30%，環(huán)保模式可進一步節(jié)省20%電力。

極端環(huán)境適應(yīng)性：iH系列耐受腐蝕性氣體與微粒，MB系列可處理高溫粉塵，EM系列蒸汽處理能力達220g/hr。

智能化控制：集成傳感器與遠程監(jiān)控系統(tǒng)，實時預(yù)警維護需求，減少停機時間。

定制化方案：針對光伏、鋰電池等新興行業(yè)，提供從泵組到減排系統(tǒng)的整體解決方案（如EZENITH集成系統(tǒng)）。